Mô tả sản phẩm

SG-P5Cảm biến áp suất cộng hưởng silicon tích hợp caosử dụng cấu trúc cộng hưởng được gia công vi mô MEMS-làm lõi cảm biến và tích hợp một mạch tích hợp-dành riêng cho ứng dụng (ASIC) để hiện thực hóa chức năng điều khiển vòng-đóng của mạch. Khi áp suất bên ngoài tác dụng lên màng chắn silicon, nó sẽ tạo ra ứng suất cơ học làm thay đổi một chút độ cứng của chùm cộng hưởng, trực tiếp chuyển thành những thay đổi có thể đo lường được ở tần số cộng hưởng. Thông qua mạch phát hiện tần số vòng lặp kín, sự biến đổi tần số được chuyển đổi chính xác thành đầu ra áp suất.

So với cảm biến áp suất điện trở/tương tự truyền thống, cảm biến dựa trên tần số- của SG{0}}P5 mang lại những lợi thế đáng kể: đầu ra tần số kỹ thuật số vốn có khả năng chống nhiễu điện từ và suy giảm tín hiệu, đảm bảo độ ổn định và khả năng lặp lại-lâu dài tuyệt vời. Được chế tạo bằng cách sử dụng phương pháp khắc ion phản ứng sâu (DRIE) để đạt được độ chính xác về cấu trúc-micron, chùm tia cộng hưởng và thiết kế cấu trúc kép{6}}vi sai của cảm biến giúp giảm trôi nhiệt độ một cách hiệu quả; kết hợp với các thuật toán hiệu chỉnh kỹ thuật số, nó hoạt động đáng tin cậy trong các ứng dụng có thời lượng dài và độ ổn định cao-. Ngoài ra, phản hồi băng thông cao của nó cho phép nắm bắt{10}các biến động áp suất ở tốc độ cao, giúp nó phù hợp với phép đo tĩnh cũng như các tình huống giám sát động và{11}}thời gian thực.

Giải pháp sản phẩm tích hợp MEMS + ASIC không chỉ giảm kích thước sản phẩm mà còn giúp kiểm soát chi phí, mang lại lợi thế hình thức rõ ràng cho SG-P5 so với các sản phẩm tương tự khác. Với độ chính xác và độ bền vượt trội, đây là lựa chọn lý tưởng cho nhiều ứng dụng bao gồm hàng không vũ trụ, khai thác dầu khí, tự động hóa công nghiệp, kiểm soát quy trình hóa học, thiết bị y tế, tên lửa-chi phí thấp, máy bay không người lái bay theo đàn và eVTOL.

Đặc trưng

● Cảm biến tần số cộng hưởng mang lại độ chính xác cao (độ chính xác toàn diện và nhiệt độ đầy đủ lên tới ±0,01%FS) và độ ổn định tuyệt vời

● Đầu ra tín hiệu tần số (loại đầu ra kỹ thuật số) có khả năng chống EMI mạnh, phù hợp với hoạt động trong môi trường khắc nghiệt

● Thiết kế chùm cộng hưởng vi sai đảm bảo độ lệch nhiệt độ thấp và độ tin cậy lâu dài-, với phạm vi nhiệt độ hoạt động rộng nhất lên tới -55 độ ~85 độ

● Phản hồi động tần số-cao, có khả năng giám sát quá trình-theo thời gian thực

● Cấu trúc thu nhỏ có khả năng tích hợp cao, lý tưởng cho OEM và các thiết bị nhúng

● Nhiều giao diện điện và giao diện áp suất tùy chọn, thích ứng với các yêu cầu ứng dụng đa dạng

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

Thông số kỹ thuật

Phạm vi áp suất	140kPa	Chọn tùy ý trong khoảng từ 0 đến dải áp suất tùy chọn với dải hiệu chuẩn, áp suất hiệu chuẩn tối thiểu 5kPa
	280kPa
Loại áp lực	Áp suất tuyệt đối
Phương tiện đo	Khí khô,{0}}không ăn mòn
Áp lực phá vỡ	140kPa: 3,5×FS	Áp lực quá tải	140kPa: 3.0×FS
	280kPa: 2.0×FS		280kPa: 1,5×FS
			350kPa: 1,2×FS
điện áp cung cấp	15V±0,5V DC	Mức tiêu thụ hiện tại	Nhỏ hơn hoặc bằng 30mA
Độ chính xác kết hợp tùy chọn	±0.01%F.S.	Sự ổn định lâu dài-	Giai đoạn nâng lên ±0,01%FS
	±0.02%F.S.		Cấp tiêu chuẩn ± 0,02%FS
Thời gian đáp ứng	Áp suất thay đổi từ 10%FS đến 90%FS＜25ms	Hiệu ứng tăng tốc	＜5 Pa/g
Thời gian bắt đầu	250ms đạt chỉ số chính xác sau khi cấp nguồn
Phạm vi đầu ra	Tần số áp suất: 30kHz ~ 50kHz
	Điện áp nhiệt độ: 0mV ~ 1500mV
Phương thức đầu ra	Tần số áp suất + Điện áp nhiệt độ
Phạm vi nhiệt độ bù	-40~80 độ
	-55~85 độ
Giao diện áp suất	φ2mm×7mm

Kích thước tổng thể

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

Ứng dụng

Hàng không vũ trụ & Hàng không: điều khiển tuabin, điều chỉnh áp suất cabin, mô phỏng/thử nghiệm.

Dầu khí/Hóa dầu: áp suất đầu giếng, đường ống bị nứt, giám sát hiện trường theo thời gian thực.

Xử lý hóa chất, dược phẩm & công nghiệp: kiểm soát lò phản ứng, giám sát rò rỉ, đo lường hệ thống nội tuyến.

Tự động hóa & Điều khiển công nghiệp: giám sát áp suất khí/lỏng, kiểm soát dòng chảy và chênh lệch áp suất.

Dụng cụ y tế và khoa học đời sống:-đo áp suất dòng chảy vi mô chính xác, giám sát hệ thống khí đốt.

Marine & Deep{0}}Kỹ thuật biển: cảm biến áp suất chìm (có sẵn gói áp suất cao-tùy chỉnh).

Tại sao nên chọn cảm biến áp suất-hiệu suất cao của chúng tôi?

Kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt từ quá trình xử lý silicon thô đến gia công vi mô DRIE và hiệu chuẩn cuối cùng.
Khả năng tùy chỉnh OEM mạnh mẽ - phạm vi áp suất, đóng gói, đầu ra tín hiệu, giao diện có thể lựa chọn.
Thời gian thực hiện nhanh và khả năng phân phối có thể mở rộng từ mẫu nguyên mẫu đến sản xuất-quy mô đầy đủ.
Hỗ trợ kỹ thuật toàn diện, hỗ trợ tích hợp và dịch vụ kỹ thuật trọn đời.
Sự công nhận của ngành và hoạt động R&D liên tục, đảm bảo độ tin cậy của sản phẩm và sự phát triển công nghệ lâu dài-.

Câu hỏi thường gặp

Q1. Có những phạm vi áp suất nào cho SG{1}}P5?

Phạm vi có thể tùy chỉnh. Cung cấp các yêu cầu về môi trường, phạm vi, nhiệt độ và tích hợp mục tiêu của bạn để đưa ra các đề xuất cấu hình.

Q2. Hiệu suất trôi dạt dài hạn ổn định đến mức nào?

Cấu trúc silicon cộng hưởng kết hợp với phép đo tần số đảm bảo độ lệch cực thấp và độ lặp lại cao khi hoạt động liên tục.

Q3. Cảm biến cung cấp định dạng đầu ra nào?

Đầu ra tần số kỹ thuật số. Giao diện/đầu nối tín hiệu có thể được tùy chỉnh để tích hợp OEM.

Q4. Cảm biến có thể hoạt động ở môi trường-nhiệt độ cao hoặc môi trường giàu EMI- không?

Có - cơ chế dựa trên tần số kỹ thuật số-cung cấp khả năng miễn dịch điện từ mạnh mẽ. Môi trường-nhiệt độ cao hoặc ăn mòn có thể cần có bao bì bảo vệ tùy chỉnh.

Q5. Bạn có hỗ trợ OEM hoặc đơn đặt hàng sản xuất hàng loạt không?

Đúng. Chúng tôi cung cấp các mẫu kỹ thuật, chạy thử và sản xuất hàng loạt với dữ liệu hiệu chuẩn, báo cáo QC và chứng nhận.

Chú phổ biến: Cảm biến áp suất cộng hưởng Silicon tích hợp cao, Trung Quốc Nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy sản xuất Cảm biến áp suất cộng hưởng Silicon tích hợp cao